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              SiA200 MEMS加速度傳感器

              SiA200是一種的電容體的MEMS加速度計,專為慣性應用設計。長期穩定性好,標度因數重復性,低運行偏差,振動整流誤差以及低噪音等方面具備明顯優勢。內部集成了信號調理、模擬±2.7V輸出、內置自檢電路和一個溫度傳感器方便用戶進行補償。能夠為高精度測量需求提供有效可靠的支撐。
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                1 用途

                SiA200是一種的電容體的MEMS加速度計,專為慣性應用設計。長期穩定性好,標度因數重復性,低運行偏差,振動整流誤差以及低噪音等方面具備明顯優勢。內部集成了信號調理、模擬±2.7V輸出、內置自檢電路和一個溫度傳感器方便用戶進行補償。能夠為高精度測量需求提供有效可靠的支撐。

                2 產品特點(±30g)

                l 運行偏差穩定性:45μg

                l 極好的長期零偏重復性:3.6mg

                l 非線性度:±0.3%FS

                l 嚴苛環境下具備極高可靠性

                l LCC20,氣密封裝

                3 產品應用

                【航空航天】慣性測量單元IMU、航空電子、姿態控制、平臺穩定系統、GPS輔助制導、無人機導航系統、機器人技術等

                【?;懟繉け?、聲納定位、船舶航海和控制、手持機地圖、載具定位等

                【地質勘探】LWD、MWD、鉆井導向、盾構機等

                     4 性能參數

              參數  |  型號

              單位

              SiA202

              SiA210

              SiA230

              SiA2100

              量程

              g

              ±2

              ±10

              ±30

              ±100

              偏值

              mg

              0.14

              0.7

              2.1

              7

              偏值重復性

              mg

              0.05

              0.2

              0.45

              0.5

              偏值穩定性

              μg

              3

              15

              45

              150

              標度因數

              mV/g

              1350

              270

              90

              27

              標度因數重復性

              ppm

              400

              標度因數穩定性

              ppm

              120

              失準角

              mrad

              10

              閾值(1Hz

              μg rms

              7

              34

              102

              340

              非線性(IEEE

              % FS

              0.3

              工作溫度

              -40125

              功耗

              mW

              10

              尺寸

              mm2

              9×9

                     5 絕對最大額定值

              參數

              條件

              單位

              最小值

              最大值

              供電電壓


              V

              -0.3

              +3.9

              任何PIN電壓


              V

              -0.3

              VDD+0.3

              操作溫度


              -40

              125

              儲存溫度


              -55

              125

              振動

              隨機

              g


              20

              沖擊

              單次沖擊/0.2ms/6方向

              g


              1500

              ESD 應力

              HBM模式

              kV

              -1

              1


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